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产品名称:
半导体特气检漏仪
产品型号:
XP-703D
产品厂商:
北京金泰科仪检测仪器有限公司
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简单介绍
半导体特气检漏仪， XP-703D（自动吸引式） 半导体特气检漏仪。 最适合于检测半导体特气的微量泄漏。 采用声光报警。检测对象气体 半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等） 检测原理 热线型半导体式 检测表示 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
半导体特气检漏仪
的详细介绍
半导体特气检漏仪 型 号 | XP-703D |
检测对象气体 | 半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等） |
检测原理 | 热线型半导体式 |
采样方式 | 自动吸引式 |
可检测浓度 （单位：ppm） | 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 |
检测表示 | 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 |
应答速度 | 10秒以内 |
联系电话：010-58410386 010-83686998 010-57185769
传真; 010-83686998
联系人郭小姐13910219471
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