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半导体特气检漏仪 [产品打印页面]

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产品名称: 半导体特气检漏仪
产品型号: XP-703D
产品厂商: 金泰仪器
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简单介绍

半导体特气检漏仪, XP-703D(自动吸引式) 半导体特气检漏仪。 *适合于检测半导体特气的微量泄漏。 采用声光报警。检测对象气体 半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等) 检测原理 专线型半导体式 检测表示 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁


半导体特气检漏仪 的详细介绍
半导体特气检漏仪

      

XP-703D

检测对象气体

半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)

检测原理

专线型半导体式

采样方式

自动吸引式

可检测浓度

(单位:ppm)

砷烷    磷烷    乙硼烷     硅烷     氢气

AsH3    PH3       B2H6      SiH4       H2

0.2     0.3     0.1        0.5        1.0

检测表示

蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁

应答速度

10秒以内

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